表1. D07-7B 型MFC性能指標(biāo)編號(hào)項(xiàng)     目D07-7B  型1流量規(guī)格( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM( 0~1,2,3,5,10)                    SLM2準(zhǔn)確度±1.5  % F.S3線性    ±1  % F.S4重復(fù)精度 ±0.2  %F.S5響應(yīng)時(shí)間電特性:      10   sec  氣特性:  ≤ 4  sec6工作壓差范圍(0.1  ~ 0.5)  MPa7耐壓3  MPa8工作環(huán)境溫度5 ℃ ~ 45 ℃9輸入輸出信號(hào)0  V ~ +5.00 V(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)10電源+15  V   50 mA-15V   200 mA11外形尺寸見圖412重量1.1  kg 注意:                                                                       質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:  SCCM  (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分);　　　　　　　　　　　　SLM    (標(biāo)準(zhǔn)升/分)標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:           溫度 ---  273.15K  ( 0℃);                          氣壓 —  101325 Pa (760mm Hg)F.S. (FullScale):     滿量程值