藍寶石精拋光液聯(lián)禾自主生產(chǎn)批發(fā) 產(chǎn)品簡介   SAS03-08型藍寶石基片CMP漿料是東莞市聯(lián)禾工業(yè)材料有限公司生產(chǎn)的新一代水溶性高純度膠體漿料，主要用于藍寶石基片表面高質(zhì)量平整化加工。該產(chǎn)品具有粒徑分散度低、穩(wěn)定性好、濃度高、可循環(huán)使用等特點。該產(chǎn)品對藍寶石基片進行CMP加工，能夠?qū)崿F(xiàn)材料去除速率高，表面平整度高、粗糙度低，表面無塌邊、麻點、腐蝕坑等微缺陷，多項參數(shù)達到國際先進水平。該產(chǎn)品適用于粗拋和精拋，也可以用于藍寶石加工的一步拋光工藝，加工后表面質(zhì)量符合工業(yè)生產(chǎn)的要求。   主要特點   SAS03-08型藍寶石基片CMP漿料用特選的納米SiO2水溶膠作為磨料，具有金屬雜質(zhì)沾污極少、易清洗、加工速率高、損傷層小、平整度高，避免晶片出現(xiàn)劃傷等特點。拋光漿料中加入了特有的拋光促進劑以及活性物質(zhì)，能夠在拋光過程中保證質(zhì)量傳輸?shù)囊恢滦?，提高拋光效率。拋光中根?jù)需要可以優(yōu)化不同配比，均能達到較佳使用效果。與國內(nèi)外同類產(chǎn)品相比，該產(chǎn)品在CMP過程中無結(jié)晶，劃傷等問題，拋光速率較快而且穩(wěn)定。   主要用途     主要用于2、4、6英寸等藍寶石基片的高質(zhì)量平整化精加工工藝。   基本參數(shù)   pH值 比重 粘度25℃ 磨料粒徑 外觀 11-12 ＞1.20 ＜10（mPa.s） 90-120（nm） 乳白   使用方法   SAS03-08型藍寶石漿料和去離子水的配比根據(jù)現(xiàn)場需要0.5-5倍，也可根據(jù)實際工藝要求改變配比。