產(chǎn)品簡介  UPP/SAS02型藍寶石基片CMP漿料是江蘇天恒納米科技股份有限公司生產(chǎn)的新一代水溶性高純度膠體漿料，主要用于藍寶石高質(zhì)量平整化加工。加工速率高，表面平整度、粗糙度達到國際先進水平，適用于各種加工方式，具有加工效率高、使用壽命長的特點，且光潔度高，懸浮性強，易清洗。 主要特點 UPP/SAS02型藍寶石基片CMP漿料用特選的納米SiO2水溶膠作為磨料，采用嚴格的粒徑控制與配方，通過自主開發(fā)的化學增強拋光原理，統(tǒng)籌拋光液流變性能，對藍寶石表面顯示出高速的拋光效率、優(yōu)質(zhì)的拋光表面。具有金屬雜質(zhì)沾污極少、易清洗、加工速率高、損傷層小、平整度高，避免晶片出現(xiàn)劃傷等特點。 主要用途 主要用于藍寶石基片的高質(zhì)量平整化加工。 基本參數(shù) pH值 比重 粘度 磨料粒徑 氧化鈉含量（%） 磨料濃度 外觀 11.0-12.0 ＞1.10 ＜10（25℃，mPa.s）  60-80（nm） ＜0.3 > 35% 乳白 使用方法 UPP/SAS02型藍寶石漿料建議和去離子水的配比為1:5,也可根據(jù)實際工藝要求改變配比。在進行拋光的過程中，建議適量添加堿性拋光助劑，有利于得到更好的拋光效果。 運輸及保存 1、運輸與存放溫度為5ºC～50ºC。存放時應(yīng)避光，以避免漿料變質(zhì)。 2、保質(zhì)期一年，建議半年內(nèi)使用。 3、避免金屬、顆粒污染，避免與強電解質(zhì)的接觸。 包裝規(guī)格 25Kg/桶