旋轉(zhuǎn)陰極 特點(diǎn)： 1、采用獨(dú)特的磁路設(shè)計(jì)，突破傳統(tǒng)模式，更符合磁控濺射的理念。 2、采用獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，冷卻充分，可滿足大功率、大電流使用要求。 3、更高的濺射率，離子密度更強(qiáng)。 4、更高的利用率，高達(dá)70以上。 5、尺寸范圍：靶材外尺寸70、100、150、250，保持一致的均勻性 6、使用范圍：如TI、AL、NI、CR、AZO、ITO等。   使用領(lǐng)域：裝飾鍍、工具鍍、ITO、光伏、LOE-E玻璃等