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NIDEK高精度平坦度測試儀FT-17/晶片平坦度檢測儀

產品信息

產品詳細

工廠出售一臺 8成新 2010年儀器   NIDEK平坦度測試儀FT-17 NIDEK FT-17平坦度測試儀功能簡介一,FT-17是∮130mm以下各類晶片平坦度測試裝置,該裝置采用激光斜射干涉技術二,可設定1,2,3,4,5μm/fringe的干涉條紋。三,接入標準的解析裝置,以表示各類晶片的平面度。測定結果,可用各種測定值,等高線圖,俯視圖,斷面圖等圖表示。四,無須校準五,以專項使用解析裝置控制程序使操作變得容易  NIDEK FT-17平坦度測試儀技術參數1,測定方法:光波干涉方法(傾斜入射)2,光源:半導體激光(655nm,3mw)3,樣片尺寸:∮130mm以下,但是平坦度在∮100mm以下4,樣片厚度:2000um以下(平坦度測定250um-1000um以下)但是承受臺zuida10mm、其他厚度請以其他方式商談5,樣片的種類:晶片(硅、化合物、酸化物、玻璃)金屬片、磁碟(鋁、玻璃)模具等 鏡面及非鏡面(除反射率低的非鏡面)6,樣片的傾斜角度:比垂直向前傾斜8度7,干涉計設定感度:1,2,3,4,5μm/線距8,測定范圍:線距感光的30倍(線距狀況、有比鏡片尺寸等30倍以下的場合)9,攝像光學比:3倍以上10,            電源:AC100V Nidek高準確平面度檢驗儀, 適用于透明晶體物體(如藍寶石晶片等)和LED外延晶片、芯片的檢驗。其應用不僅局限于對藍寶石襯底單面/雙面的表面平坦檢驗,而且更多地應用于對外延之后,外延層表面品質、TTV等的檢驗和評估。在電腦顯示屏上,它可自動生成三維立體的表面彩色效果圖,以幫助人們清楚細微地、直觀地了解和掌握對象物表面層生長的情況。測試項目吸附:GFLR、GF3D、GF3R、TV、GBIR、TAPER、TAng、SFLR、SFLD、SFQR、SF3R、SF3D、SBIR、SBID非吸附:BOW、SORI、整體應力、局部應力 可測試晶片種類切割片、研磨片、拋光片、外延片、磊晶片可選配光刻區(qū)域模擬軟件、應力分析軟件等

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