使用VPSA變壓吸附制氧工藝制取氧氣，既能優(yōu)于PSA制氧工藝能耗高、維護(hù)率高等特點(diǎn)，又比深冷空分使用方便，同時(shí)還能滿足臭氧發(fā)生器對(duì)氧氣源純度大于91%露點(diǎn)小于-60等要求，因此VPSA變壓吸附制氧工藝非常適合為臭氧發(fā)生器提供氧氣源。目前供給廣州石化1#200萬(wàn)噸/年催化裂化裝置煙氣脫硫脫硝項(xiàng)目配套的VPSA變壓吸附制氧設(shè)備也在積極生產(chǎn)當(dāng)中。隨著中國(guó)政府對(duì)削減工業(yè)行業(yè)大氣污染物排放力度的不斷加大，企業(yè)急需尋找更有效的應(yīng)對(duì)方案。采用臭氧脫硝技術(shù)可得到較高的NOX脫除率，典型的脫除范圍為70%～90%，甚至可達(dá)到95%，并且可在不同的NOX濃度和NO、NO2的比例下保持。目前國(guó)內(nèi)石化行業(yè)已經(jīng)率先使用臭氧脫硝，國(guó)內(nèi)金陵石化、茂名石化、湛江石化、廣州石化等都在使用該方案，并且使用效果非常明顯。昆山某公司采用VPSA變壓吸附制氧技術(shù)為臭氧發(fā)生器提供穩(wěn)定可靠的氧氣源，不但設(shè)備使用方便還為企業(yè)帶來(lái)了十分可觀的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。