1、靶材密度，這個是較主要的，好的靶密度至少達到97%以上，所以大家買回靶來以后可以根據(jù)重量體積來計算一下，靶的密度和理論塊體的密度的比例有多少，低于90%不符合標準。
2、開裂問題，套磁靶很容易開裂，所以大家一定要求用cu的背板，這個是必須的，另外靶材不宜太厚，小于5mm較好了。金屬靶是不大會開裂的，否則它的密度肯定很差。
3、電導率對于AZO，ITO靶材來說非常重要的，買回來可以測測他們的電導率是多少，不同公司用的粉不同，電導率有很大差別，電阻率越小做出來的膜導電性肯定越好。