主要配置 主要配置 參數(shù) 型號(hào) G3 Ult II 振鏡參數(shù) 入射光斑 10mm 跟隨誤差 0.11ms 標(biāo)刻速度 8000mm/s 定位速度 15000mm/s 1%全行程 0.26ms 10%全行程 0.62ms 重復(fù)精度 < 2µrad 增益漂移 < 100ppm/K 零位漂移 < 25µrad/K 8小時(shí)漂移 < 0.1mrad 非線性度 < 0.4% 掃描角度 ±0.35rad 信號(hào)波長(zhǎng) 通訊協(xié)議 XY2-100 波長(zhǎng) 10600nm、1064nm、532nm、 355nm 供電參數(shù) 供電電源 ±15VDC，5安 基本參數(shù) 重量 2100g 工作溫度 25±10℃       典型應(yīng)用 G3 Ult II振鏡可用于半導(dǎo)體、極耳切割、印刷電路板、脆性材料切割、金屬微孔等。